一、概述
真空热处理技术具有无氧化、无脱碳、脱气、脱脂、表面质量好、变形微小、综合力学性能优异、无污染、无公害及自动化程度高等一系列突出优点，50余年来始终是国际热处理技术发展的热点，近20余年来在我国也得到迅速发展。我国真空热处理工艺的研究和应用已遍及真空退火、真空油(气)淬火、真空高压气体淬火、真空渗碳、真空渗氮、真空回火、真空烧结、真空钉焊、真空渗金属、真空离子渗碳(渗氟、渗金属)、真空涂敷及真空清洗等广阔领域，取得了长足的进展。据资料介绍和统汁估算，我国现有各类真空热处理设备约4500台套，占我国热处理设备的3.75％左右。我国现有专业性真空热处理设备生产厂家约50余家，主要产品有真空油（气）淬火炉、真空高压气淬炉、真空回火炉、真空钎焊炉、真空烧结炉、真空渗碳炉、真空渗氮炉、氮炉、离子渗碳(氮)炉和真空连续炉等真空热处理设备。全国从事真空热处理技术研究、设计、制造、开发和应用的职工总数约为6000人。现在，真空热处理技术已经进入技术领域不断扩大，工艺水平逐渐提高，真空热处理设备不断完善和日益多样化、智能化，新技术接连涌现的稳定发展阶段。
二、真空热处理工艺
20世纪70年代真空热处理技术在我国发展初期，人们主要研究探讨真空热处理的基本性质、加热特点、金属蒸发问题和金属在真空下加热的基本规律以及变形问题，同时开展了典型热处理工艺的研究，进行了真空油淬火和真空气淬的工艺研究和应用。为真空热处理工艺的研究和应用奠定了基础。80年代以来，真空热处理技术在我国迅速发展，引进先进设备增多，真空热处理工艺应用日广。许多单位着手真空油、气淬火技术的开发应用，开发了负压高流率淬火技术，以及在引进设备上开发高压气淬工艺的应用实践，真空渗碳技术、真空烧结、真空钎焊、真空离子渗碳(氮、金属)的研究和应用相继展开，真空热处理技术开始从研究试验和少量生产走向工业生产领域。随着技术的进步，进入90年代以来，真空热处理工艺技术出现了许多新技术、新特点，高压气淬和超高压气淬的应用，真空加热的热风(气流)循环和快速冷却技术，真空(脉冲)渗氮技术，真空低压渗碳高压气淬技术，真空清洗技术、真空表面涂敷技术和真空喷涂技术，真空热处理工艺与设备智能控制系统，燃气式真空炉及智能系统，真空等温热处理技术及智能系统，真空离子渗碳(氮、金属、多元共渗等)技术蓬勃开展。在美国、德国、英国、法国和日本等国成为新技术发展的热点。我国在上述领域跟踪国际先进技术，结合国情，积极研究、开发我国的真空热处理新技术、新设备。如高压气淬工艺与设备，真空回火热风循环与快冷处理，连续炉真空热处理和真空渗碳工艺等；同时在真空清洗技术、真空渗氮工艺与设备、真空热处理工艺与设备的智能化控制系统以及高温离子热处理技术等领域也在进行研究探索和工业开发的应用试验；并且将研发新技术设备应用于生产。真空热处理工艺的发展方兴未艾，前景美好。
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